Werte

Kundenorientiert durch Qualität
Wir halten hohe Standards in Design, Fertigung und Validierung ein, um eine zuverlässige und konsistente Leistung in High-End-Anwendungen zu gewährleisten.

Vision

Präzisionstechnologie zugänglicher machen und die industrielle Automatisierung zu höherer Genauigkeit und größerer Intelligenz vorantreiben.

Mission

Integrierte Lösungen für ultra-präzise Wafer-Positionierung, -Transfer und -Lagerung zu entwickeln – angetrieben von präziser Bewegungssteuerung und fortschrittlichen Fertigungskapazitäten – und stabile, zuverlässige sowie leistungsstarke Kernunterstützung für Halbleiter- und High-End-Industrieräte bereitzustellen.

Über uns

XIVI ist ein technologiegetriebenes Unternehmen, das sich auf präzise Bewegungssteuerung und Halbleiterautomatisierung spezialisiert hat.
Mit fast einem Jahrzehnt F&E-Erfahrung und internen Präzisionsfertigungskapazitäten bieten wir integrierte Lösungen für ultra-präzise Wafer-Positionierung, -Transfer und -Lagerung.
Unsere Technologien unterstützen kritische Halbleiterprozesse und liefern hohe Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Systemstabilität für fortschrittliche Fertigungsumgebungen.
XIVI bedient weltweit Hersteller von Halbleiterausrüstung und High-End-Automatisierungsindustrien und hilft Kunden, höhere Präzision, Effizienz und Prozessstabilität zu erreichen.

XIVI

Wafer-Handling-Roboter

Wafer-Handling-Roboter ermöglichen den automatisierten Wafer-Transfer und die präzise Positionierung innerhalb von Halbleiterwerkzeugen und unterstützen eine stabile und zuverlässige Handhabung in atmosphärischen und Vakuumumgebungen.

Präzisions-Bewegungsbühnen

Präzisions-Bewegungsbühnen bieten hochgenaue Positionierung, Abtastung und Ausrichtung für fortschrittliche Geräte, bei denen Stabilität, dynamische Reaktion und geringe Vibrationen entscheidend sind.

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Produktzentrum

ROBOT STR

5-Achsen-Halbleiter-Wafer-Handhabungsroboter mit 2 unabhängig steuerbaren Dreharmen. Er kann die Waferaufnahme von EFEM von 2 FOUP bis 3 FOUP unterstützen. Der Roboter verfügt über hohe Präzision und hohe Steifigkeit.

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ROBOT STR

ROBOT ZTR-W

Die Vakuum-Manipulatoren von XIVI verfügen über einen vollgliedrigen Armmechanismus für höhere Positioniergenauigkeit. Durch die Verwendung einer vollständigen Closed-Loop-Steuerung und ausgestattet mit vakuumdirect-drive Motoren, bietet er höhere Drehgenauigkeit und schnellere Reaktionszeiten.

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ROBOT ZTR-W

ROBOT VTR

Der Atmosphärische Wafer-Transfer-Roboter (im Folgenden als 'Roboter' bezeichnet) ist geeignet für den Einsatz in atmosphärischen Reinraumumgebungen und besteht aus ...

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ROBOT VTR

ABXY

Die ABXY-ZT4-Serie ist eine Luftlager-Mechanikbühne mit sechs Freiheitsgraden. Sie ist speziell für Back-Channel-Belichtungsmaschinen sowie Wafer-Inspektion, Schneiden, Glühen und andere anspruchsvolle Designs der Halbleiterindustrie konzipiert.

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ABXY

VMS-V

Die Plattform ist nach strengen Hochvakuum-Standards konstruiert und gefertigt, um einen stabilen und zuverlässigen Betrieb in Vakuumumgebungen bis zu 5x10 Pa zu gewährleisten und somit eine solide Grundlage für hochpräzise Experimente und Produktionen zu bieten.

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VMS-V

VMZT

Die VMZT-Serienbühne ist eine mechanische Bewegungsbühne mit vier Freiheitsgraden. Sie ist für das anspruchsvolle Design der Halbleiterindustrie im Zusammenhang mit Back-Channel-Belichtungsmaschinen und Wafer-Inspektion ausgelegt.

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VMZT