ABXY

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ABXY

Die ABXY-ZT4 Serie ist eine 6-DOF hybride Luftlager- und mechanische Bewegungsplattform, die für die anspruchsvollen Anforderungen der Backend-Belichtung, Wafer-Inspektion, Zerteilung und Glühbehandlung entwickelt wurde.

ABXY

Beschreibung1

Reißverschluss 1/4 Reißverschluss Sportpullover für Herren. Dehnbares, leichtes, schnell trocknendes Material für überlegene Leistung. REGULÄRE PASSFORM - US-Standardgrößen. Eine sportliche Passform, die eng am Körper anliegt und eine große Bewegungsfreiheit bietet, entwickelt für optimale Leistung und ganztägigen Komfort. MERKMALE - Viertel-Reißverschluss; Daumenlöcher an den langen Ärmeln, damit sie während des Trainings an Ort und Stelle bleiben

Funktionen

· X/Y-Achsen verwenden Luftlager für eine reibungslose, reibungsfreie Bewegung

· T- Achse : mikro-rotatorische Einstellung zur Nivellierung

· Doppelantriebs-Schrittmotorachsen mit passiven Dämpfungselementen

· Z- Achse : schnelle, präzise Fokussierbewegung

Spezifikationen

Spezifikation ti ons
Reise	Scan Achse	350mm, 500mm
	Schritt Achse	350mm, 500mm
	Z Achse	5mm
	Kipp-/Neigung Achse	± 2mrad
	Rz	± 3 °
Antriebssystem	T Achse	Linearer bürstenloser Motor
Auflösung	R Achse	< 1 nm
Genauigkeit	± 200nm
Wiederholgenauigkeit (wählen Sie den Linearantrieb)	± 100nm ( ± 50nm Optional)
XYZ-Positionsstabilität (Luft an)	20 nm
Granit-Bass-Dicke	250 mm
Nennlast (Einhaltung der dynamischen Spezifikationen)	5 kg
Maximale Nutzlast	10kg
Maximale Geschwindigkeit bei Nennlast	Scan-Schritt Achse		400 mm/s
Spitzenbeschleunigung bei Nennlast	Scan-Schritt Achse		1 G (10m/s)
RMS-Beschleunigung mit Nennlast	Scan-Schritt Achse		0,5 G (5m/s)
Steifigkeit, erste Eigenfrequenz mit Nennlast	> 100 Hz
Nick	2 Bogensekunden
Roll	2 Bogensekunden
Gieren	2 Bogensekunden
XY-Geradheit	1 μm
XY-Ebenheit	1,2 μm
XY-Orthogonalität	< 2 Bogensekunden
Geschwindigkeitswelligkeit (abgetastet bei 400 mm/s)	0,1%
MTBF	20.000 Stunden

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