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Ausgezeichnete Vakuumkompatibilität: Entwickelt und hergestellt nach Hochvakuum-Standards, gewährleistet einen stabilen und zuverlässigen Betrieb bis zu 5 × 10⁻⁵ Pa und bietet eine solide Grundlage für hochpräzise Experimente und Fertigung.
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Starke magnetische Abschirmung: Eine sorgfältig konstruierte magnetische Abschirmstruktur wirkt effektiv
unterdrückt
magnetische Störungen und reduziert das Magnetfeld in der Arbeitsebene auf ein extrem niedriges Niveau, wodurch eine ultraniedrige magnetische Umgebung für präzise Verarbeitung und Inspektion geschaffen wird.
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Hervorragende dynamische Leistung: Ein optimiertes Strukturdesign ermöglicht leichte, agile Bewegungen bei gleichzeitig ausgezeichneter Stabilität und sorgt für eine effiziente und reibungslose dynamische Performance.
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Hochflexible Anpassung: Maßgeschneiderte Optionen für Verfahrwege, Abmessungen, Schnittstellen und mehr sind verfügbar, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen, eine nahtlose Integration in komplexe Systeme zu gewährleisten und wirklich maßgeschneiderte Lösungen zu ermöglichen.
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Spezifikationen
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X-Achse
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Y-Achse
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Verfahrweg
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400
mm
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400mm
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Wiederholgenauigkeit
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±0,3 μm
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±0,3 μm
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Maximale Geschwindigkeit
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0,35 m/s
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0,35 m/s
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Maximale Beschleunigung
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0,4 g
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0,4 g
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Horizontale Geradheit
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±1 μm
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±2 μm
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Vertikale Geradheit
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±2 μm
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±2 μm
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Nick
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8 Bogensekunden
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8 Bogensekunden
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Roll
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8 Bogensekunden
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8 Bogensekunden
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Minimale Schrittweite
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10 nm
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10 nm
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Nutzlast
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25 kg
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Orthogonalität
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< ±2 Bogensekunden
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Umgebung
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Vakuum, 5 × 10⁻⁵ Pa
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Magnetfeld
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DC: 300 nT / AC: 20 nT
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Sauberkeit
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ISO Klasse 6
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Ausgasungsrate
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< 3 × 10⁻⁶ Pa·m³/s
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Die oben genannten Spezifikationen sind anpassbar
. Für die neuesten Informationen bei Kaufüberlegungen wenden Sie sich bitte an unseren Vertriebsleiter.