VMZT

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VMZT

Die VMZT-Serie ist eine 4-DOF-Bewegungsplattform, die für anspruchsvolle Halbleiter-Back-End-Anwendungen entwickelt wurde, einschließlich lithographiebezogener Prozesse und Wafer-Inspektion.

VMZT

Beschreibung1

Reißverschluss 1/4 Reißverschluss Sportpullover für Herren. Dehnbares, leichtes, schnell trocknendes Material für überlegene Leistung. REGULÄRE PASSFORM - US-Standardgrößen. Eine sportliche Passform, die eng am Körper anliegt und eine große Bewegungsfreiheit bietet, entwickelt für optimale Leistung und ganztägigen Komfort. MERKMALE - Viertel-Reißverschluss; Daumenlöcher an den langen Ärmeln, damit sie während des Trainings an Ort und Stelle bleiben

Funktionen

· Die X- und Y-Achsen verwenden hochsteife, hochpräzise Linearschienen, die während der Bewegung eine Ebenheit und Geradheit im Mikronbereich gewährleisten.

· Integrierte ZT-Achse mit kompakter, flacher Bauweise, unterstützt 360 ° kontinuierliche Rotation.

· Das Design der Z-Achse kann unverändert bleiben .

Spezifikationen

Spezifikationen
Verfahrweg	Scan Achse	400mm, 550mm
	Schritt Achse	400mm, 550mm
	Z Achse	4mm
	Rz	±10°
Antriebssystem	Linearer bürstenloser Motor
Auflösung	1 nm
Genauigkeit	< ± 2 μm
Wiederholgenauigkeit	< ± 0.5 μm
XYZ Positionsstabilität	± 0.1 μm
Granit-Bassisdicke	250 mm
Nennlast (Einhaltung der dynamischen Spezifikationen)	5 kg
Maximale Geschwindigkeit bei Nennlast	Scan-Schritt Achse		700 mm/s
Spitzenbeschleunigung bei Nennlast	Scan-Schritt Achse		0.7 G
Steifigkeit, erste Eigenfrequenz bei Nennlast			> 100 Hz
Nick / Gier	X-Achse		< ±3 Bogensekunden
	Y-Achse		< ±4 Bogensekunden
Geradheit / Ebenheit	X-Achse		< ±2 μm
	Y-Achse		< ±2 μm
	Z-Achse		< ±1,5 μm
XY-Orthogonalität	< 2 μm
Geschwindigkeitswelligkeit (abgetastet bei 100 mm / s)	0,25%
Arbeitsfläche - Montageflächenparallelität	< 5 μm
MTBF	40.000 Stunden

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