Die VXT-Serienbühne besteht aus linearen Kreuzrollenlagern, Linearmotoren und einem berührungslosen Linearcoder. Durch die Verwendung eines zentriert angetriebenen eisenlosen Antriebs bietet diese Serie keinen Rastmomenteffekt, gewährleistet eine gleichmäßige Geschwindigkeitsregelung und verbessert die Betriebseffizienz weiter. Plattformen dieser Serie zeichnen sich durch hervorragende Hochgeschwindigkeitsleistung und hohe Präzision aus.
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Hohe Auflösung von 1 nm, hohe Positionierwiederholgenauigkeit von 75 nm und hohe Positioniergenauigkeit von 250 nm.
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Hochintegrierte X/Y-Linearmotor-Nanobühne.
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Nanometergenauigkeit über einen langen Verfahrweg.
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Geringer Bewegungsfehler bei hoher Stabilität und Genauigkeit.
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Kriechfreie Eigenschaften.
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Hohe dynamische Leistung durch Direktantriebstechnologie ermöglicht.
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Mechanische Spezifikationen
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VXTI-060-N
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VXTI-060-P
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VXTI-110-N
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VXTI-110-P
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VXTI-160-N
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VXTI-160-P
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Hub
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60 mm
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60 mm
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110 mm
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110 mm
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160 mm
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160 mm
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Genauigkeit
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±2 μm
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±250 nm
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±3 μm
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±300 nm
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±4 μm
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±300 nm
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Auflösung
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1 nm
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1 nm
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1 nm
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1 nm
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1 nm
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1 nm
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Wiederholgenauigkeit (bidirektional)
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±100 nm
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±75 nm
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±100 nm
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±75 nm
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±100 nm
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±75 nm
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Geradheit & Ebenheit
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±0,75 μm
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±0,75 μm
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±0,75 μm
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±0,75 μm
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±1 μm
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±1 μm
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Steigung
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10 Bogensekunden
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10 Bogensekunden
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10 Bogensekunden
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10 Bogensekunden
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10 Bogensekunden
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10 Bogensekunden
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Gieren
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5 Bogensekunden
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5 Bogensekunden
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5 Bogensekunden
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5 Bogensekunden
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5 Bogensekunden
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5 Bogensekunden
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Maximale Geschwindigkeit
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300 mm/s
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300 mm/s
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300 mm/s
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300 mm/s
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300 mm/s
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300 mm/s
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Maximale Beschleunigung (ohne Last)
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10 m/s²
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10 m/s²
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10 m/s²
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10 m/s²
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10 m/s²
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10 m/s²
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Positionsstabilität
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<1 nm
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<1 nm
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<1 nm
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<1 nm
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<1 nm
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<1 nm
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Maximale Kraft (Dauerbetrieb)
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22 N
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Tragfähigkeit
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Horizontal
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10 kg
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Seite
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10 kg
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Bewegte Masse
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1,5 kg
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1,5 kg
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2,0 kg
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2,0 kg
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2,5 kg
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2,5 kg
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Bühnenmasse
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2,8 kg
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2,8 kg
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3,5 kg
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3,5 kg
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4,0 kg
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4,0 kg
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Material
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Aluminium
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MTBF
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20.000 Std.
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