VTR-Roboter

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VTR-Roboter

Der atmosphärische Wafer-Transferroboter (im Folgenden “Roboter”) ist für den Reinraum-Betrieb konzipiert und besteht aus einer Basis, einem Arm und einem optionalen Wafer-Endeffektor (Wafer Gabel). Er transferiert Wafer mittels Vakuum-Saugung und/oder Klammerung, angetrieben durch koordinierte Gelenkbewegungen, einschließlich Z-Achsen-Hebung, T-Achsen-Drehung und R/W-Achsen-Ausdehnung/-Einzug.

VTR-Roboter

Beschreibung1

Reißverschluss 1/4 Reißverschluss Sportpullover für Herren. Dehnbares, leichtes, schnell trocknendes Material für überlegene Leistung. REGULÄRE PASSFORM - US-Standardgrößen. Eine sportliche Passform, die eng am Körper anliegt und eine große Bewegungsfreiheit bietet, entwickelt für optimale Leistung und ganztägigen Komfort. MERKMALE - Viertel-Reißverschluss; Daumenlöcher an den langen Ärmeln, damit sie während des Trainings an Ort und Stelle bleiben

Spezifikationen

Spezifikationen
VTR		Einarmig	Zweiarmsystem
		143 mm / 176 mm
Nutzlast		0,5 kg
R/W-Achse	Geschwindigkeit	430 mm/s
T-Achse	Bereich	0° ~ 340°
T-Achse	Winkelgeschwindigkeit	250 °/s
Z-Achse	Hub	250 / 300 / 350 / 400 / 450 mm
Z-Achse	Geschwindigkeit	250 mm/s
Robotergewicht		< 35 kg
Sauberkeit		Klasse 1
Wiederholgenauigkeit		±0,1 mm
Strombedarf		Einphasiger Wechselstrom 200V, 20A

*Die Nutzlast ist das Gewicht des zu transportierenden Produkts.

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