ZTR-Roboter

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ZTR-Roboter

In einem Vakuum-Wafer-Transfersystem verwendet der Vakuumwafer-Handhabungsroboter von XIVI einen vollständig gekoppelten Armmechanismus, um eine hohe Positioniergenauigkeit zu erreichen. Mit voll geschlossener Servosteuerung und einem vakuumgetriebenen Direktantriebsmotor (DDM) bietet er überlegene Rotationsgenauigkeit und schnellere dynamische Reaktion. Die bidirektionale Doppelarm-Konfiguration ermöglicht eine erweiterte Reichweite, ohne die Prozesskammerfläche zu vergrößern, was einen höheren Durchsatz für die Handhabung von Wafern an mehreren Stationen ermöglicht.

Für Hochvakuum-Wafer-Transferanwendungen, bei denen überprüfte Genauigkeit und Wiederholbarkeit erforderlich sind, bietet der Vakuumwafer-Handhabungsroboter von XIVI eine hohe Positionierwiederholbarkeit und eine äußerst zuverlässige Vakuumtrennleistung.

ZTR-Roboter

Beschreibung1

Reißverschluss 1/4 Reißverschluss Sportpullover für Herren. Dehnbares, leichtes, schnell trocknendes Material für überlegene Leistung. REGULÄRE PASSFORM - US-Standardgrößen. Eine sportliche Passform, die eng am Körper anliegt und eine große Bewegungsfreiheit bietet, entwickelt für optimale Leistung und ganztägigen Komfort. MERKMALE - Viertel-Reißverschluss; Daumenlöcher an den langen Ärmeln, damit sie während des Trainings an Ort und Stelle bleiben

Spezifikationen

Spezifikationen
Wafer-Größe		6' /8' / 10' /12'
Hub/Reichweite	Z-Achsen-Hub (Hubhöhe)	70 mm / 125 mm
	T-Achsen-Drehung	360° kontinuierlich
	R-Achsen-Hub (Ausdehnung)	1050 mm (abhängig vom Endeffektor)
Wiederholgenauigkeit	Z-Achse	±0,05 mm
	T-Achse	±0,006°
	R-Achse	±0,05 mm
Gewicht		38 kg
Vakuumkompatibilität		1 × 10⁻⁶ Pa
Heliumleckrate		< 1 × 10⁻⁹ std·cc/s He
Sauberkeit		ISO Klasse 1
Kommunikation		TCP/IP
Option		AWC (Wafer Positionskompensation)

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