Ein 5-Achsen-Einarm-Halbleiter-Wafer-Handhabungsroboter mit integriertem Endeffektor-Wende-Mechanismus.
|
Spezifikationen
|
||
|
STR
|
Einarmig
|
|
|
210 mm
|
||
|
Nutzlast
|
0.5 kg
|
|
|
R-Achse
|
Geschwindigkeit
|
350 °/s
|
|
Bereich
|
±170°
|
|
|
θ
1
Achse
|
Geschwindigkeit
|
250 °/s
|
|
Bereich
|
±170°
|
|
|
θ
2
Achse
|
Geschwindigkeit
|
330 °/s
|
|
Bereich
|
±160°
|
|
|
Z-Achse
|
Geschwindigkeit
|
440 mm/s
|
|
Bereich
|
300 mm
|
|
|
Robotergewicht
|
25-30 kg
|
|
|
Sauberkeit
|
Klasse 1
|
|
|
Wiederholgenauigkeit
|
±0,1 mm
|
|
|
Strombedarf
|
Einphasen-Wechselstrom 200V, 20A
|
|
*Die Nennlast bezieht sich auf das Gewicht des
Wafers
der übertragen wird.